第121章 你小子真厉害,我也怀了双胞胎(1/2)
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“老公…你造的光刻机真的成功了?”
安若素全程懵逼,“光刻机造的芯片在哪儿?让我看看。”
闻言,正处于梦游状态的皇甫君噗嗤一笑,解释说:“傻孩子,光刻机只负责把电路图案刻在晶圆硅片上,而一片12寸晶圆可以切割几百颗芯片小晶圆,光刻只是造芯片的其中一环,并不能直接造出芯片。”
“噢…这样啊,那晶圆硅片呢?让我们看看被光刻机刻的图案是什么样的?成功与否,总得有个依据吧?”
“就算给你看,你也什么都看不到,因为光刻工艺是纳米级的,1纳米等于十亿分之一米,给你打个比喻吧,一根头发丝直径约为6万-9万纳米,芯片线路比头发丝还要细上几万倍,远远小于人眼的分辨极限。”
皇甫君补充道:“就算是普通光学显微镜也看不到,得用电子显微镜才能观测。”
“明白了,那就用电子显微镜看看嘛。”
安若素说出了妹妹和市领导、校领导的心声,除了研发团队,其他人都是一知半解。
毕竟光刻机的工作过程太抽象,不能直观地感受到产品效果,所以除研发团队外,大家反应平平,都有点木木的。
其实皇甫君也想看看,毕竟她从未见过1n晶圆工艺,别说1n了,2n、3n都没见过,于是看向女婿:“苏总,要不让大家开开眼?”
“没问题~”
苏云杉示意工程师取出12寸晶圆。
工程师小心翼翼地拿出一片圆形硅片,捧在无尘手套的手心上,供众人观看。
皇甫君、安若素姐妹、市领导、校领导、研发团队凑近围观,研发团队再次发出阵阵惊呼,相互拥抱庆祝。
晶圆直径30厘米,厚度不到1毫米,像一张薄薄的大光盘,在光的反射下呈七彩虹颜色,整片晶圆整齐排列着几百个小正方形,每个格子就是一颗芯片晶圆。
“哇——”
安无恙两眼放光:“好漂亮——”
安若素俯身近距离研究,“嗯…确实什么都看不到……”
苏云杉示意工程师用电子显微镜看晶圆。
12寸晶圆太大,放不进设备,技术人员先从整片晶圆切下一小块样品,经过清洁和导电处理,固定在样品台,放入SEM扫描电子显微镜,关闭舱门,抽真空。
然后发射电子束,扫描晶圆表面,接着转换成图像显示在屏幕上。
当放大到5万倍时,才能清晰地看到整体线路网络,呈纵向横向分布。
“喔喔喔——”
安若素指着屏幕激动道:“看到了看到了!一条条线路纵横交错,像是一座微型城市的大路小道!”
当放大到15万倍时,单条1n线路清晰可辨,能看到一根根独立线条,以及线与线之间的空隙,可直观判断线条是否笔直、有无粘连、断线、畸变,也是产线检测1n 工艺图形良率的核心倍率。
“我的妈呀——”安无恙瞠目结舌:“太神奇了吧——,指甲盖大小的芯片晶圆…居然能刻出这么多、这么复杂的电路图…怪不得老妈以前说造芯片难如登天呢……”
皇甫君呆若木鸡地盯着显示器,亲眼看到放大后的晶圆,终于可以确定——1n光刻机成功了!!!
“宝贝!!你竟然真的造出了1n光刻机!!!”
皇甫君不顾外人在场,激动地抓住苏云杉的双肩,眼神炽热如熊熊烈火,停顿三秒,踮起脚尖么哒么哒么哒,吻了一次又一次,亢奋道:“宝贝我爱死你啦!!!”
【来自岳母皇甫君的幸福值+999】
【叮!系统积分已超5万,宿主可解锁太阳宝箱,是否开启?】
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