第379章 光刻巨兽（2/2）

部长，各位领导，老总师指着那些粗壮的管道，声音洪亮，以前我们搞光刻机，最头疼的就是光源功率不够。ASML为了把光源塞进那那个小盒子里，不得不把激光器做得极其精密微小，结果就是散热难、寿命短、功率衰减快。

他拍了拍面前的栏杆，仿佛在拍打老伙计的肩膀：但在林院士的工厂即机器理念下，我们彻底放开了手脚！既然塞不进去，那就不塞了！我们直接构建了一个超大规模的激光发生阵列，体积是ASML光源系统的二十倍！

二十倍……随行的专家倒吸一口凉气。

没错！老总师眼中精光四射，体积大了，我们就能用上工业级的液冷循环系统。你们听——

众人屏息凝神，隐约能听到一种低沉而连绵的震动声，像是大江大河在地下奔流。

这是冷却水在管道中高速流动的声音。因为散热效率的指数级提升，我们的光源功率不仅没有衰减，反而实现了持续的超频输出。稳定性远超国外同类产品！

部长听得连连点头，目光转向另一侧：那那个巨大的圆筒结构是什么？

那是我们的物镜系统。

这次走出来的是国望光学的总工程师。这位平日里谨小慎微的技术大拿，此刻却显得意气风发。

他指着那个贯穿了三层楼结构的巨大镜筒：做光刻机，最怕的就是震动。ASML是用极其复杂的悬浮系统来抵消震动，技术难度极高，我们一直攻不下来。但林院士说，为什么要抵消？直接让它稳如泰山不就行了？

所以，我们将物镜系统直接与建筑的主体结构融为一体。这根镜筒的基座，直接打到了地下五十米的岩层里！

总工比划了一个手势：这是利用地球的重力做锚点。除非发生地震，否则这个镜筒的微震动几乎为零。这是史上最笨重的物镜系统，但也是史上最稳定的！

大巧不工，重剑无锋啊。部长感叹道，这种设计思路，完全跳出了西方技术路线的陷阱。

不仅如此，林星石插话道，有了这种极致的稳定性，我们在双工件台的移动速度上，就能更加激进。

众人顺着他的视线看向最下方的核心作业区。

那里有两个看似不起眼的工作台，正在以一种肉眼几乎难以捕捉的速度疯狂移动。

这就是我们的双工件台。工件台系统的负责人指着下方的屏幕，上面显示着实时的遥测数据。

双工件台技术，以前是ASML的独门绝技，也是专利壁垒最高的领域。他们靠的是机械结构的极致精密。负责人顿了顿，语气变得激动起来，但我们靠的是算法！

大家看，这两个工件台的移动速度极快，在毫秒级的瞬间完成交换、对准、曝光。这种高速运动下，机械结构的轻微形变是不可避免的。如果是传统思路，这就废了。

但是！负责人猛地提高了音量，我们在星火云实时操作系统的控制下，通过几万个传感器实时回传数据，用算法实时补偿了这些形变！

屏幕上的数据流如瀑布般刷过，那是正在进行的每秒上亿次的微调计算。

这不是机械的胜利，这是算力的胜利！负责人握紧了拳头，我们在硬件精度不如人的情况下，靠着林院士提供的这套实时控制系统，硬生生跑出了比ASML还要高的同步精度！

这就是力大砖飞啊……部长喃喃自语。