第379章 光刻巨兽（1/2）

2017年8月，南都，烈日当空。

江北新区的星火半导体制造基地外，一支低调的黑色车队缓缓驶入。

车轮碾过沥青路面，最终停在一座充满未来感的银灰色巨型建筑前。

车门打开，科技部部长一行人走下车。

林院士，咱们又见面了。部长快步走上前，握住早已等候在门口的林星石的手，目光中满是期待，虽然你在电话里汇报过进度，但不仅是我，上面几位领导都坐不住了，非要我亲眼来看看才放心。

林星石微笑着侧身引路：百闻不如一见，各位领导，请。

一行人步入大厅，冷气瞬间驱散了暑意。按照常理，进入这种级别的晶圆厂，往往需要经过繁琐的更衣消毒程序，换上厚重的连体防尘服。

随行的几位领导已经习惯性地看向更衣室的方向，却发现林星石直接带着大家走向了核心区的气闸门。

林院士，这……不用换衣服？一位司长疑惑地问道。

林星石停下脚步，指了指头顶和四周隐约可见的气流喷口：这是我们自主设计的动态层流环境控制系统。在这个区域，空气以特定的流速和方向垂直流动，形成了一道道看不见的空气墙，能瞬间压制并带走人体产生的微尘。只要不是直接接触晶圆的核心腔室，普通参观区完全不需要穿防尘服。

这也是为了降低运维难度，林星石补充道，如果几百名工程师每天进出都要花半小时换衣服，那效率太低了。

部长赞许地点点头：这一手降维打击倒是很符合你们星火的风格，把功夫花在系统设计上，而不是死磕单点技术。

穿过气闸门，众人走进了一条宽阔的空中参观长廊。

当厚重的隔音门缓缓滑开，视野豁然开朗的那一刻，所有人都停下了脚步。

原本还在小声交谈的专家和领导们，瞬间安静下来。

映入眼帘的，不是他们想象中排列整齐的一台台光刻机。

矗立在他们面前的，是一座。

一座建在厂房里的。

这台庞然大物足有三层楼高，占地面积目测超过五百平米。巨大的银色金属管道如同血管般密布其上，连接着各个独立的模块舱体。与之相比，参观长廊上的人显得格外渺小。

这……这就是那台DUV？部长的声音里带着一丝震撼。

准确地说，这是一座光刻工厂。林星石站在落地玻璃前，看着下方的巨兽，眼神里闪烁着光芒。

他指着正前方那个最庞大的模块，那里有一组极其复杂的管道系统一直延伸到建筑的地下部分。

那是光源系统。

一位头发花白的老者快步走过来，他是喜都光机所的老所长，也是这次国产光刻机光源系统的总师。看着这个巨大的装置，老人的脸上满是自豪。

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