第415章 参观基地2（1/2）

“您给的那个抛光算法，简直就是数学上的艺术品！我们几个老家伙研究了好几宿，越看越觉得深不可测。老板，您要是还有这种算法，可千万别藏着掖着，给我们开开眼吧！”

林平安看着那面仿佛能吸走灵魂的镜子，满意地点了点头。这就是EUV光刻机的“眼睛”。没有它，再好的光也刻不出电路图。

“还有这个，双工件台。”

李工又带着林平安来到了另一个车间。

这里，两个巨大的金属台正在高速运动。它们就像是在冰面上滑行一样，无声无息，却快如闪电。

“以前的光刻机，只有一个台子。曝光的时候不能测量，测量的时候不能曝光。效率太低，就像是一个人干两份活。”

“而这个双工件台，一个在曝光，另一个就在旁边测量、对准。两不耽误！效率直接翻倍！”

李工指着那两个台子，它们在磁悬浮导轨上飞速穿梭，速度快得惊人，却又稳如泰山。

“这就是那个‘磁悬浮平面电机’技术！加速度能达到2G，定位精度却能控制在几纳米！”

“老板，这简直就是机械工程的奇迹！有了这个，我们的光刻机生产效率，绝对吊打尼康和佳能！”

“当初我们看到图纸的时候，都觉得这是科幻小说里的东西。怎么可能在这么高的速度下还能保持纳米级的精度？但是，当我们按照您的控制逻辑把代码敲进去之后……”

李工激动得胡子都在抖：

“它真的跑起来了！而且比我想象的还要稳！老板，这种控制算法，您到底是怎么想出来的？这比现在的工业控制理论先进了至少二十年啊！您要是还有关于运动控制的资料，能不能再给我们讲讲？”

周围的年轻工程师们看着那两台不知疲倦工作的机器，眼中满是自豪，也满是对林平安的崇拜。在他们心里，老板已经不是商人，而是无所不知的科技之神。

……

最后，林平安来到了第十三层。

材料学实验室。

这里的味道有些刺鼻，那是各种化学试剂的味道。但这刺鼻的味道，在科研人员闻来，却是最香甜的胜利果实。

“老板，您要的光刻胶，配出来了！”

一位戴着厚厚眼镜的女博士迎了上来。她是这一层的负责人，专门研究高分子材料。她手里拿着一个小小的玻璃瓶，像捧着稀世珍宝。

“EUV光刻胶，那是光刻机皇冠上的宝石。以前全被日本JSR和信越化学垄断了。他们卡我们的脖子，卖给我们的都是落后两代的货色，还爱卖不卖的。”

女博士咬了咬牙，显然以前没少受气。

“但是现在，我们有了这个！”

她举起那个深褐色的小瓶子：

“按照您给的‘化学放大型’配方，我们合成出了这种新型光刻胶。”

“它的感光度极高，只需要极少的EUV光就能发生反应。而且，它的分辨率能达到5纳米级别！边缘粗糙度极低！”

“我们做了对比测试，性能比日本最顶级的货还要好30%！而且成本只有他们的一半！”

女博士激动得眼圈都红了，声音哽咽：

“老板，有了这个，我们就再也不用看日本人的脸色了！这是咱们中国人自己的配方！是您给我们的配方！”

“您知道吗？当我们把这个配方做出来的时候，大家都觉得不可思议。这种分子结构的组合，这种引发剂的选择，完全颠覆了现有的教科书。老板，您在材料学上的造诣，简直让我们这些博士汗颜。您要是还有关于底部抗反射涂层（BARC）的新想法，一定要告诉我们啊！我们现在干劲十足，就等着您的新指示呢！”

本章未完，点击下一页继续阅读。