第414章 参观基地1（2/2）

每一次击中，都是一次完美的能量释放。

“这就是EUV光源。纯净、强大、稳定。”

张明德的声音充满了敬畏，他转过头，死死地盯着林平安：

“老板，有了这个，我们就掌握了制造7纳米，甚至5纳米芯片的钥匙！这是超越时代的技术！比以前的ASML方案，整整先进了一代！不，是两代！”

“老板，您……您手里还有这种好东西吗？关于激光器的冷却系统，或者是下一代的自由电子激光，您要是还有想法，哪怕只是个草图，也一定要给我们看看啊！我们这帮人现在别的都不想，就想把这玩意儿做到极致！”

周围的研究员们也围了上来，一个个眼巴巴地看着林平安。他们都是各自领域的顶尖专家，但在这个年轻的老板面前，他们觉得自己就像是刚刚学会走路的小学生，渴望着老师再多教一点知识。

那些图纸，那些参数，在他们眼里就是无价之宝，是真理的碎片。

“放心。”林平安拍了拍张明德的肩膀，“把这个吃透了，更好的东西在后面等着你们。”

……

电梯继续上行，来到了第九层。

这里是光学与机械系统实验室。相比于楼下的狂暴能量，这里显得更加静谧，但也更加精密。地板是防震的，空气中几乎没有一丝尘埃。

“老板，这边请。”

这一层的负责人是李工，一位头发花白的老工程师，曾在国内某精密仪器厂干了一辈子，后来被高薪请出山。此时的他，虽然年纪大了，但腰杆挺得笔直，精神矍铄。

“老板，您那个‘全反射光学系统’的思路，真是绝了！我搞了一辈子光学，从没见过这么大胆的设计！”

李工带着林平安走进了一间超净室。

这里摆放着一组巨大的、形状怪异的镜子。它们不是普通的平面镜，而是有着极其复杂的曲面。

“以前的光刻机，用的都是透镜。就像相机的镜头一样，光线穿过去。那是咱们的传统强项。”

“但是EUV光太娇气了，穿透力极差，任何玻璃都会把它吸收掉。所以，必须用反射镜！但这反射镜的精度要求，简直是变态！”

李工指着那几面镜子，语气中满是赞叹：

“这些镜子，表面镀了上百层钼和硅的纳米薄膜。每一层的厚度，都要控制在原子级别！稍微有一点误差，光线就散了。”

“这还不是最难的。最难的是镜面的平整度。”

李工拿出一张示意图，指着上面的一条近乎完美的直线：

“如果把这面镜子放大到整个地球那么大，那么它表面的起伏，不能超过一根头发丝！这就是您要求的精度！”

“我们按照您的‘离子束修形’工艺，磨了整整两个月，报废了几十块材料，终于磨出来了！”

李工抚摸着那是镜子的外壳，就像是在抚摸情人的肌肤。

“老板，您知道吗？当我们第一次测试反射率达到70%的时候，整个实验室的人都哭了。这是世界纪录啊！蔡司现在的水平也就65%！”