第183章 18微米(1/2)
请关闭浏览器的阅读/畅读/小说模式并且关闭广告屏蔽过滤功能,避免出现内容无法显示或者段落错乱。
第183章 0.18微米
春去夏至。沪上,张江。
龙安半导体一期晶圆厂(fab1)。
这是一座巨大的、银白色的金属怪兽,匍匐在江南的梅雨季里。厂房外墙上,“东大芯,龙安造”六个红色大字在雨雾中显得格外刺眼。
cp测试区(circuitprobe)。
数百台探针台整齐排列,发出单调的机械声。这里是审判庭。每一片晶圆都要在这里接受最残酷的检验,决定它是成为昂贵的晶片,还是沦为一文不值的废硅片。
江权站在观察窗前。
他已经站了三个小时。
玻璃窗內,赵维明、朴正洙、田中,还有几十个核心工程师,正围著一台测试机。他们的背影僵硬得像雕塑。
“第一批lot(批次)数据出来了。”
阿忠的声音很低,像是怕惊扰了什么。
江权没有回头:“念。”
“一共25片晶圆。每片切割die(裸片)数量450颗。理论总產出11250颗。”
阿忠吞了一口口水,艰难地继续说道:“良品率(yield)...5.2%。”
5.2%。
在半导体行业,良品率就是生命线。90%是优秀,80%是及格,50%是亏本。
而5.2%,意味著全军覆没。意味著几千万美金的投入,几百个日夜的血汗,最终只换来了一堆昂贵的工业垃圾。
江权推开门,走进了测试区。
这一次,他穿上了全套的防尘服。他看到老板进来,所有人都低下了头。赵维明的眼圈是红的,朴正洙的手在发抖,田中则死死地盯著屏幕上的红色报错代码,仿佛要把它看出一个洞来。
“老板,是光刻对准的问题。”赵维明的声音沙哑,“0.18微米的线宽太窄了,尼康的ser在边缘区域出现了像差,导致...”
“还有蚀刻。”朴正洙补充道,“等离子体的浓度不均匀,造成了侧壁损伤...”
“我们在想办法修补。”田中急切地说道,“只要调整一下曝光参数,或者把那些边缘的die
屏蔽掉,良品率也许能拉到15%...”
“修补”
江权打断了他。
他走到探针台前,拿起一片刚刚测试完的晶圆。
那是一片完美的圆形,在灯光下闪烁著彩虹般的光泽。每一个微小的方格里,都集成了数百万个电晶体。它是人类工业文明的结晶,美得令人窒息。
但现在,它上面布满了黑色的墨点(kdots)。那是测试机打上去的“死刑標记”。
“15%”江权看著手中的晶圆,语气平静得可怕,“田中,你是想告诉我,我们花了六个月,烧了几千万美金,就是为了生產这种残次品”
“老板,这是第一次流片,5%很正常...”田中试图辩解,“英特尔当年做奔腾的时候,第一次也只有...”
“我不听英特尔!”
江权突然吼了一声。
这一声吼,在空旷的厂房里迴荡,嚇得田中差点跪下。
“我不管英特尔怎么样,我也不管台积电怎么样。”江权举起手中的晶圆,目光如刀,“在龙安,只有两个標准:要么是100%的完美,要么就是0!”
“可是...”朴正洙还想说什么,“这批片子虽然良率低,但挑一挑还是能用的。有些晶片只是主频上不去,可以降频卖给vcd厂商,至少能回本...”
“回本”
“朴正洙,你是不是觉得我是个收破烂的”
他转过身,走向旁边的一辆物料车。车上整整齐齐地码放著这批刚刚下线的25片晶圆盒。
所有人都惊恐地看著他。
江权拿起一个晶圆盒,打开,抽出里面的晶圆。
“啪!”
一声清脆的碎裂声。
那片价值几千美金的晶圆,被他狼狠地摔在防静电地板上,瞬间炸成了无数碎片。
“老板!”赵维明惊叫一声,想要衝上去阻拦。
“別动!”
阿忠一步跨出,挡在了所有人面前。
“啪!”
又是一声。
第二片。
“啪!”
第三片。
江权面无表情,机械地重复著这个动作。拿起,摔碎。拿起,摔碎。
每一声脆响,都像是一记耳光,抽在在场每一个工程师的脸上。
那是他们的心血。是他们熬了无数个通宵,掉了无数根头髮换来的成果。此刻,却像垃圾一样被摔得粉碎。
本章未完,点击下一页继续阅读。