第392章 国产联盟的反击（1/2）

2015年1月20日，北京密云，向阳精密工业01号基地。

大寒已过，燕山脚下的积雪还没化尽。寒风呼啸着穿过这片由废弃纺织厂改造的工业园区，卷起地上的枯草。

但在3号车间里，热浪滚滚。

这里没有顶级晶圆厂那种一尘不染的白色极简风，反而充满了粗砺的重工业气息。地上铺着防静电胶皮，到处是裸露的线缆和不仅没有抛光、焊缝都清晰可见的不锈钢管道。

“起压！腔体真空度0.01帕！”

一个穿着沾满机油的工装、头发乱得像鸡窝的中年男人正趴在一台巨大的机器上吼叫。他叫沈瑞，半年前，他还只是一个在中关村到处蹭咖啡喝、被投资人当成骗子的海归博士。

而现在，他是这个车间的“疯子头领”。

在他身下这台机器，外壳是用简陋的铁皮拼起来的，控制面板是一块改装的工业平板，甚至连底座都是从一台二手数控机床上拆下来的。

但它的核心——那个反应腔体，却是沈瑞带着三十个兄弟，在地下室里用手工磨出来的。

这是中国第一台自主研发的电容耦合等离子体刻蚀机。

“射频电源启动！功率2000瓦！”

“轰——”

机器内部发出了一声沉闷的低吼，紫色的等离子辉光通过观察窗透了出来，映照在沈瑞那张满是油污和胡茬的脸上。

“稳住！稳住！”沈瑞盯着示波器上那条疯狂跳动的曲线，“只要这口气憋住了，咱们就能在硅片上挖出坑来！”

站在车间二楼观察台上的林向阳，手紧紧抓着栏杆。站在他身边的，是同样紧张的王博，以及负责法律确权的沈清仪。

刻蚀机，是芯片制造中仅次于光刻机的第二大难关。

光刻机负责在光刻胶上画出图形，而刻蚀机负责用等离子体这把“化学刀”，顺着图形把硅片上不需要的部分“啃”掉。

如果光刻机是画师，刻蚀机就是雕刻师。

此前，这个领域被美国的泛林集团和应用材料绝对垄断。科恩的实体清单一下来，向阳集团连一颗刻蚀机的螺丝钉都买不到。

“滴——”

十分钟后，机器停止轰鸣。

沈瑞顾不得烫手，戴着石棉手套，亲自打开腔体，取出了那片刚刚经过“洗礼”的晶圆。

那是用“盘古1号”浸没式光刻机画好65n线条的晶圆，现在轮到沈瑞的机器来把这些线条变成实实在在的电路沟槽。

“快！切片！上电镜！”

一群工程师像饿狼一样围了上去。

林向阳也快步走下楼梯。

几分钟后，电子显微镜的大屏幕上，显现出了晶圆的横截面。

全场死寂。

只见屏幕上，一道道深邃、垂直、边缘如同刀切般平整的沟槽，整齐地排列着。

“侧壁角度89.5度……”沈瑞的声音在颤抖，“刻蚀深度均匀性……98%。”

“成了……他妈的成了！”

这个平日里文质彬彬的博士，突然爆了句粗口，然后一屁股坐在满是油污的地上，抱着那台机器的铁皮外壳，嚎啕大哭。

“谁说我们是收破烂的？啊？谁说我们只会造太阳能板？”

沈瑞哭得像个孩子，“老子做出来了！65纳米！甚至能刻45纳米！科恩你个老王八蛋，我看你怎么封锁我！”

车间里爆发出了震耳欲聋的欢呼声。那些几个月没回家的工程师们把安全帽扔向空中，有人相拥而泣，有人疯狂地敲打着铁栏杆。

林向阳走到沈瑞面前，蹲下身，递给他一张纸巾。

“沈总，别哭了。留着力气。”

林向阳看着那台丑陋却伟大的机器，眼中满是敬意，“这台机器，向阳集团买了。首批订单，五十台。预付款明天就到账。”

沈瑞抬起头，满脸泪水地看着林向阳：“林总，这机器丑，还没外壳……”

“丑才好。”林向阳笑了，笑得无比灿烂，“它越丑，美国人越觉得我们没威胁。等到他们发现这堆‘破铜烂铁’能造芯片的时候，我们已经漫山遍野了。”

“清仪。”林向阳转头看向妻子。

沈清仪立刻上前，打开公文包，拿出一叠厚厚的文件：“沈总，这是专利交叉授权协议和法律保护书。您的这台机器，里面用了向阳集团的一些控制算法，我们也用了您的等离子源技术。为了防止将来被国外专利流氓碰瓷，我们必须把法律的篱笆扎紧。”

“还有，”沈清仪补充道，“我已经帮您注册了离岸控股公司，即使将来科恩查到这儿，他在法律层面上也奈何不了您。”

沈瑞擦干眼泪，郑重地在文件上签下了名字。

这一刻，中国半导体设备联盟的最后一块短板，补齐了。

……

三天后。北京西郊，“深渊”实验室。

所有的拼图终于汇聚在一起。

光刻： 改造后的“盘古1号”浸没式光刻机（65n精度）。

刻蚀： 沈瑞团队的国产CCP刻蚀机。

薄膜： 北方微电子（化名）提供的PVD设备。

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