第361章 盘古初啼（1/2）

2012年5月20日，北京西郊，“向阳精密纺织”厂地下，“深渊”实验室。

在这个被年轻人戏称为“表白日”的日子里，位于地下三层的“深渊”实验室却笼罩着一种近乎宗教般的肃穆。

空气净化系统发出的低频嗡嗡声，掩盖了数十名工程师粗重的呼吸声。

所有人的目光，都聚焦在实验室中央那台被防静电帘幕层层包裹的庞然大物上。

它没有ASML那种极具科幻感的白色流线型外壳，相反，它看起来丑陋而狰狞。无数粗细不一的线缆像血管一样裸露在外，连接着旁边的控制柜和冷却液泵；核心的光学系统被固定在一个重达二十吨的花岗岩基座上，周围还缠绕着用来隔绝微震的减震弹簧。

这就是“盘古”验证机。

一台由走私来的德国光栅尺、国产的老旧光源、王博手写的控制算法，以及无数个不眠之夜拼凑起来的“弗兰肯斯坦”。

“各项参数检查完毕。”

王博坐在主控台前，声音有些干涩。他的手指悬在那个红色的“执行”键上方，微微颤抖。这是他人生中第一次对自己的数学模型感到恐惧。

“双工件台气浮高度：15微米。锁定。” “干涉仪激光强度：正常。锁定。” “掩膜版对准误差：低于5纳米。锁定。” “预测控制算法：在线。锁定。”

负责硬件总装的朱教授站在观察窗前，手里紧紧攥着一块被汗水浸透的手帕。老人花白的头发在无影灯下显得格外刺眼，他像是一个等待孩子出生的父亲，既期待又害怕。

“向阳……”朱教授转过头，看向一直站在角落里的林向阳。

林向阳穿着洁净服，双手抱胸，眼神深邃得像一口古井。他知道这台机器意味着什么。这是中国半导体工业在黑暗中摸索了三十年后，试图点亮的第一根火柴。

“开始吧。”林向阳点了点头，语气平静，“不管结果如何，我们都得迈出这一步。”

朱教授深吸一口气，对着麦克风下达了指令：

“盘古一号，第一次全流程光刻实验，启动。”

“收到。启动曝光程序。”

王博狠狠地按下了回车键。

“嗡——”

伺服电机的啸叫声瞬间变了。原本静止的双工件台开始在磁悬浮导轨上加速。

这就是之前困扰了他们无数个日夜的“死亡之舞”。

两个工件台，一个承载着硅片，一个承载着掩膜版，它们必须以极高的速度-500/s反向运动，并且在运动中保持纳米级的同步。只要有一方慢了哪怕一微秒，刻出来的电路图就会变成一团模糊的鬼影。

大屏幕上，代表位置误差的曲线开始剧烈跳动。

所有人的心都提到了嗓子眼。

“预测补偿介入……”王博盯着屏幕，语速极快，“前馈量增加5%……抑制震荡……稳住了！”

只见那条原本狂暴的曲线，在即将触碰红线的一瞬间，像是被一只看不见的大手硬生生地按了回来，死死地压在绿色的安全区内。

“同步误差：18纳米！稳定！”

“曝光！”

随着指令下达，一道刺眼的深紫色光束（KrF准分子激光，波长248n）穿过复杂的光学透镜组，穿过掩膜版上的电路图案，最终轰击在涂满了光刻胶的硅片上。

那一瞬间，光与影在微观世界里完成了一次精密的雕刻。

“第一场曝光完成。” “步进移动……” “第二场曝光完成……”

机器有节奏地律动着，像是一颗巨大的心脏在跳动。

十分钟后。

“曝光结束。晶圆传出。”

机械臂发出一声轻响，将那片承载着所有人希望的12英寸晶圆送到了显影台。

接下来的显影、定影过程，对于在场的每一个人来说，都像是漫长的酷刑。

终于，朱教授颤颤巍巍地用镊子夹起晶圆，放入了旁边的高倍电子显微镜下。

图像被投射到了实验室的大屏幕上。

死一般的寂静。

屏幕上，呈现出了一幅黑白分明的几何图案。那是密密麻麻的晶体管栅极，像是一座座整齐排列的微型迷宫。线条笔直，边缘锐利，没有重影，没有断裂。

屏幕右下角的标尺显示：Le Width: 180.2 n。

“成……成了？”

刚刚加入团队不久、原本对这台“拼装机”不抱希望的赵子明，张大了嘴巴，眼镜差点滑落下来。

“成了！！！”

朱教授突然爆发出一声嘶哑的哭喊。老人猛地扑到屏幕前，用手抚摸着那冰冷的显示器，泪水瞬间决堤。

“看见了吗？这是路！这是路啊！”老人哭得像个孩子，“三十年了……我们终于把路走通了！虽然它还很宽，虽然它还很粗，但这是我们自己走出来的路啊！”

实验室里爆发出了雷鸣般的掌声和欢呼声。

王博瘫坐在椅子上，仰天长笑，笑着笑着眼泪就流了下来。那些日日夜夜盯着公式推导的痛苦，在这一刻全都值了。

林向阳依旧站在角落里，看着狂欢的人群。

他也想哭，但他忍住了。作为统帅，他必须比任何人都更清醒。

他走到显微镜前，仔细审视着那张图。

180纳米。

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