第355章 火种归来（2/2）

那台巨大的机器内部，多了几双锐利的“眼睛”。

“通电。”林向阳下达了指令。

“通电！”王博按下主控台的红色按钮。

“嗡——”

低沉的电流声响起，那是伺服电机预励磁的声音。紧接着，两束红色的激光从干涉仪的发射头射出，经过复杂的棱镜折射，精准地打在工件台的反射镜上，形成了一个完美的闭环回路。

屏幕亮起。

原本满屏红色的“Position Error”（位置错误）警报瞬间消失，取而代之的是一行行绿色的跳动数据。

“位置反馈信号锁定。”操作员的声音因为激动而变得尖锐，“X轴分辨率……0.1纳米！Y轴分辨率……0.1纳米！”

“启动双台同步测试。”林向阳死死盯着主屏幕中央的那条曲线，“目标速度500/s，扫描模式。”

巨大的工件台开始移动。

不像之前那样磕磕绊绊，这一次，它像是在冰面上滑行一样丝滑。两个工件台在高速运动中交错、换位，仿佛两名默契的舞者。

所有人的目光都集中在那个名为“MA”（Movg Average，移动平均误差）和“MSD”（Movg Standard Deviation，移动标准差）的数据上。

这是衡量光刻机精度的生死线。如果要实现90纳米乃至更高端的制程，这两个工件台在高速运动中的同步误差必须被压制在极小的范围内。之前的国产替代方案，误差高达几百纳米，根本无法使用。

屏幕上的曲线开始剧烈波动，然后迅速收敛。

100n…… 80n…… 50n……

朱教授抓着桌沿的手指关节发白，额头上全是汗水。

30n…… 25n……

最终，数据在一条极细的直线附近稳定下来。

Sync Error (Max): 18.5 n Sync Error (RMS): 12.3 n

死一般的寂静笼罩了实验室。

所有人都瞪大了眼睛，不敢相信屏幕上的数字。

18.5纳米。

虽然距离世界顶尖水平（ASML此时已经能做到8纳米甚至更低）还有不小的差距，但这个数量级意味着什么？

意味着这台机器不再是废铁。 意味着它已经具备了进行90纳米甚至65纳米工艺曝光实验的基础物理条件！

“成……成了？”王博结结巴巴地打破了沉默，“我们……我们真的做到了？”

“哇——！！！”

不知道是谁先喊了一声，紧接着，整个实验室爆发出了震耳欲聋的欢呼声。

几个年轻的工程师直接把手里的记录本扔到了天上，抱在一起痛哭流涕。有人瘫坐在地上，大口喘着气，仿佛刚刚跑完了一场马拉松。

朱克勤教授没有欢呼。他只是摘下眼镜，用那件满是油污的白大褂擦了擦眼角浑浊的泪水，然后转过身，对着那台机器深深地鞠了一躬。

“三十年了……”老人哽咽着，声音在空旷的实验室里回荡，“老师，您看见了吗？我们的机器，终于能看见路了。”

林向阳站在人群之外，看着这一幕狂欢。

他没有哭，也没有笑。他的眼神依旧冷静，只是那双一直紧握的拳头终于松开了。

他走到那台机器面前，伸手抚摸着冰冷的金属外壳。此刻，这台机器仿佛有了生命，他能感受到里面那颗名为“火种”的心脏正在有力地跳动。

“向阳。”王博红着眼睛走过来，用力拍了拍他的肩膀，“这下我们可以睡个好觉了。有了这个精度，S2的流片验证就能在自家机器上跑通一部分了。”

“睡好觉？”林向阳转过头，看着王博，嘴角勾起一丝淡淡的苦笑，“王博，你错了。”

他指了指屏幕上那个“18.5 n”的数据。

“这只是开始。”林向阳的声音低沉而有力，“18纳米，只能让我们看到对手的背影。要想追上他们，甚至超越他们，我们需要把这个数字变成8纳米，5纳米，甚至1纳米。”

他环视着周围渐渐平静下来的工程师们，目光如炬：

“深渊凝视的阶段过去了，因为我们已经在深渊里点亮了火把。但接下来，我们要面对的，是更加漫长、更加枯燥的‘寸步难行’阶段。”

“我们要用这把买来的尺子，去校准我们自己造的尺子。我们要用这一代机器，去生出下一代更强的机器。”

林向阳走到朱教授身边，扶起这位已经泣不成声的老人。

“朱老，今晚大家可以哭，可以醉。但明天早上八点，所有人准时开工。”

林向阳的声音穿透了实验室的每一个角落，带着一种不容置疑的坚定：

“因为盘古才刚刚睁开眼。离他开天辟地，还早着呢。”

窗外，东方的天空已经泛起了鱼肚白。第一缕阳光穿透北京的雾霾，照耀在这片承载着希望的土地上。

火种已归。 燎原之势，蓄势待发。