第344章 那台趴窝的机器（1/2）

北京西郊。

地面上，这里是一座挂着“向阳精密纺织”牌子的废弃老厂房，红砖墙上爬满了枯萎的爬山虎，寒风吹过，发出萧瑟的沙沙声。大门口只有一个看门的老大爷，看起来毫不起眼。

但在厂房地下三十米深处，却是一个恒温、恒湿、防震等级达到核掩体级别的绝密空间。

代号：“深渊”。

这里没有白天黑夜，只有永远亮着的琥珀色黄光（光刻工艺对紫外线敏感，必须使用黄光照明）。

林向阳换上了全套的白色无尘服，经过三道风淋室，走进了核心实验区。空气中弥漫着一股臭氧和光刻胶混合的特殊味道，那是半导体工业特有的“硝烟味”。

“林董。”

一个略显佝偻的身影迎了上来。

这是一位头发花白的老人，眼窝深陷，满眼的红血丝，身上的白大褂领口已经磨破了边。大家都尊称他：朱教授。

与负责手机芯片设计的梁国栋那种硅谷精英范儿完全不同，朱教授是那种典型的“中科院扫地僧”。他曾在大国重器的精密机械领域隐姓埋名几十年，为了造出中国自己的光刻机，被林向阳“三顾茅庐”请出了山，担任向阳集团光刻机攻关组的总负责人。

“朱教授，辛苦了。”林向阳看着这位比半年前瘦了一圈的老人，心里有些发酸，“情况怎么样？”

“还是那只‘拦路虎’。”

朱教授指了指实验室中央那台被拆得面目全非的庞然大物。

那是一台二手的尼康S204B光刻机，是向阳集团花了三个亿从二手市场上淘回来的。但此刻，它原本精密的外壳已经被全部拆除，露出了里面错综复杂的液压管路、激光干涉仪和密密麻麻的线缆。

最核心的晶圆承载台位置，被朱教授团队改造成了两个并排的金属台，看起来像是一对钢铁双胞胎。

这就是向阳集团正在攻关的“双工件台”（T S）系统。

这也是目前光刻机领域最核心、最难啃的骨头。传统的单工件台，曝光和测量在同一个台子上，效率低；而双工件台，一个台子曝光，另一个台子同时进行测量预对准，效率翻倍。这是量产高端芯片的必经之路。

“我们的火种S1虽然卖得好，但那是台积电代工的。”林向阳看着那台机器，语气沉重，“科恩那些美国人笑话我们，说我们只会画图，不会造纸。这台机器，就是我们要造的‘纸’。”

“只要这台机器能动起来，我们就有底气。”林向阳拍了拍栏杆，“开始吧，朱教授。让我看看它到底卡在哪儿。”

“准备测试！”朱教授深吸一口气，对着对讲机下令。

实验室里的气氛瞬间紧绷。

十几名年轻的博士生迅速回到各自的控制台前。巨大的机械臂开始充能，发出低沉的嗡鸣声。

“双工件台同步测试，第142次。目标速度：1.2米/秒。同步精度要求：20纳米。”

随着指令下达，那两个沉重的金属工件台开始在磁悬浮导轨上滑动。

起初，它们像是在冰面上优雅滑行的舞者，一个负责曝光，一个负责测量。两个台子交替运动，速度越来越快，带起的风声在封闭的腔体内呼啸。

“速度0.8米/秒……震动正常。” “速度1.0米/秒……误差120纳米，正在修正。” “速度1.2米/秒！进入交换区！”

就在两个工件台准备进行高速位置交换的瞬间——

“嗡——咔！”

一声令人牙酸的金属摩擦声猛然炸响，紧接着是防撞系统启动的巨响。

“砰！”

整个基座剧烈震动了一下，警报红灯疯狂闪烁。

“紧急制动！紧急制动！”朱教授大吼着扑向急停按钮。

机器停了下来。

两个工件台死死地卡在导轨中间，只差几毫米就撞在一起。那昂贵的超平滑镜面导轨上，被划出了一道触目惊心的划痕。

“失败了。”

操作台前的博士生摘下耳机，绝望地抱着头，“同步误差5微米。在这个速度下，5微米就是一场车祸。”

5微米。

对于普通人来说，那是头发丝直径的十分之一，肉眼根本看不见。但在光刻机的世界里，这是马里亚纳海沟一样的差距。

朱教授死死盯着屏幕上那条红色的误差曲线，身体开始剧烈颤抖。

“为什么……为什么还是对不上？”

他喃喃自语，声音沙哑得像是在泣血，“算法改了，电机换了，连地基的减震弹簧都换成了核潜艇用的。为什么还是瞎？”

突然，朱教授身子晃了晃，向后倒去。

“朱老！”

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