第116章 林渊的决断：自研！（2/2）

研发进度在磕磕绊绊中推进。八月中旬，沈阳机床传来好消息，经过改造的五轴加工中心成功加工出第一根精密导轨，平面度误差仅0.0008毫米，良率达到85%。当导轨被送到深蓝科技的实验室时，舒尔茨教授亲自带队检测，看着检测仪器上跳动的绿色数据，老教授激动得拥抱了身边的张明：“这是奇迹！你们用三个月完成了德国同行两年的工作。”

就在团队庆祝之际，米国商务部突然发布公告，将范德霍夫列入“技术出口管制黑名单”，冻结其在美所有资产，并威胁要对协助他来华工作的机构实施制裁。范德霍夫的妻子打来越洋电话，哭着说米国移民局已经上门调查，要求他们限期回国。“我不会回去。”范德霍夫挂掉电话后，将一份放弃米国国籍的申请递给苏晴，“我在ASML工作了二十年，最大的遗憾就是看着自己研发的技术成为政治工具。现在我要在龙国实现我的梦想。”

林渊立刻安排陆明的安全团队为范德霍夫及其家人提供24小时保护，同时联系外交部协调办理龙国绿卡。“米国越是打压，越说明我们的方向是对的。”林渊在全体研发人员大会上说，“范德霍夫教授放弃国籍来帮我们，我们要是搞不出光刻机，对得起他的信任吗？”他当场宣布，将自己的年薪从500万降到1元，所有高管年薪减半，节省的资金全部投入研发。

九月初，光刻机研发遇到了最大的技术瓶颈——光学系统的色差校正问题。蔡司的镜片采用了七层镀膜技术，能将色差误差控制在0.0001纳米，而深蓝科技自主研发的镜片，色差误差始终在0.0005纳米以上，导致晶圆曝光精度不足。舒尔茨教授连续三天三夜泡在实验室，熬得眼睛布满血丝，却始终找不到解决方案。

林渊带着团队飞到海市，拜访了中科院海市光学精密机械研究所的王之江院士。这位89岁高龄的老院士，在实验室里给他们展示了自主研发的多层镀膜技术样品。“蔡司的技术是积累了六十年的，我们想一步追上不现实，但可以换个思路。”王院士指着电脑上的模拟图，“用量子点材料替代传统镀膜，虽然工艺更复杂，但能将色差误差降到0.0002纳米，满足28n制程的需求。”

量子点材料的研发需要投入额外的8亿元，而且研发周期要四个月。当林渊在高管会上提出这个方案时，周明远再次提出反对：“现在已经投入了35亿，再追加8亿，我们的现金流会非常紧张。而且量子点材料从来没有应用在光刻机上，风险太大了。”林渊没有争辩，而是打开了一段视频，里面是王之江院士在实验室工作的场景，老人握着烧杯的手虽然有些颤抖，眼神却异常坚定。“王院士89岁还在搞研发，我们还有什么理由怕风险？”林渊当场拍板，“8亿资金从渊渟文娱的版权收入里抽调，必须保证下个月启动量子点材料中试。”

资金难题刚解决，又一个坏消息传来——日本住友化学宣布停止向龙国供应光刻胶，而深蓝科技的光刻胶库存只够维持一个月。光刻胶是芯片制造的关键材料，全球只有日本住友、信越化学等四家企业能生产，技术壁垒比光刻机还要高。“这是最后的杀招了。”张明拿着住友化学的断供通知，“他们想在材料环节彻底卡死我们。”

林渊突然想起半个月前拜访王之江院士时，老院士提到的海市一家初创企业。他立刻拨通了这家名为“光刻芯材”的企业负责人电话，对方却在电话里连连道歉：“林总，实在对不起，我们的光刻胶虽然通过了实验室验证，但还没实现量产。而且住友化学已经警告过我们，要是敢给深蓝科技供货，他们就发起专利诉讼。”

“量产的资金我们出，专利诉讼我们扛。”林渊的语气不容置疑，“我给你们注资2亿元，建设年产500吨的生产线，三个月内必须实现量产。专利方面，我们已经联系了国内最好的知识产权律师，住友化学要是敢起诉，我们就反诉他们滥用市场支配地位。”放下电话，林渊对苏晴说：“通知法务部，立刻梳理住友化学在华的专利布局，找出他们的专利漏洞。另外，联系工信部，申请将光刻胶纳入国家战略储备物资。”

十月中旬，在投入43亿研发资金后，深蓝科技的光刻机研发终于迎来了第一个关键节点——量子点镀膜镜片成功量产，色差误差稳定在0.0002纳米。当第一台光刻机原型机完成组装，开始进行晶圆曝光测试时，整个研发中心鸦雀无声。屏幕上的光刻图案逐渐清晰，线宽误差仅0.01微米，完全符合28n制程要求。“成功了！”实验室里爆发出雷鸣般的欢呼，舒尔茨教授抱着林渊，激动得说不出话来，眼泪顺着皱纹滑落。

测试成功的消息很快传到了京市，工信部张部长亲自带队前来视察。看着光刻机原型机正在稳定运行，张部长紧紧握住林渊的手：“你们创造了奇迹！这不仅是深蓝科技的胜利，更是龙国半导体产业的里程碑。国家的第二笔20亿元专项补贴已经到位，另外我们协调了国开行，给你们提供30亿元的低息贷款，年利率只有3.2%。”

然而，林渊并没有沉浸在喜悦中。他知道，原型机成功只是第一步，要实现量产还需要解决良率提升、成本控制等一系列问题。更重要的是，内部的反对声音依然存在——周明远在高管会上再次提出，应该先将光刻机技术授权给中芯国际，通过技术许可获取收益，而不是投入更多资金建设生产线。“现在渊渟文娱的股价虽然止跌回升，但市盈率已经降到了15倍，再大规模投入，投资者会失去信心的。”

林渊没有当场表态，而是带着所有高管去了西安的半导体博物馆。在“龙国半导体产业屈辱史”展区，一张张老照片记录着过去几十年的艰难历程：1985年引进的第一条芯片生产线因技术封锁被迫停产，2000年华维因缺乏自主芯片被迫放弃海外市场，2018年中兴因芯片断供差点破产。“这些照片，我每看一次就心痛一次。”林渊站在照片前，声音沉重，“如果我们现在停下脚步，十年后我们的孩子还会看到同样的照片。”

从博物馆回来后，周明远主动找到了林渊，递上一份渊渟文娱的资金调配方案：“我想通了。昨晚我给我父亲打电话，他说当年他们那代人搞两弹一星，连饭都吃不饱，照样干成了。我们现在条件这么好，没理由退缩。渊渟文娱的版权运营板块已经实现了稳定盈利，我可以再压缩5亿元开支，支持光刻机量产。”

林渊看着眼前的老搭档，心中充满了感动。他拿出一份新的研发计划，上面写着“2024年实现28n光刻机量产，2026年攻克14n技术，2030年追上ASML最先进水平”。“我们的目标不止是28n。”林渊的目光望向窗外，夕阳将研发中心的玻璃幕墙染成了金色，“未来五年，我们要打造一条从硅料、光刻胶到光刻机、芯片封装的完整产业链，让龙国半导体彻底摆脱对国外的依赖。”

当天晚上，林渊收到了任远峰先生的亲笔信。信上只有一句话：“狭路相逢勇者胜，自主研发的路上，华维与你们同行。”林渊将信贴在办公室的墙上，看着白板上密密麻麻的研发节点，他知道，最艰难的战斗才刚刚开始。但他更坚信，只要团队同心同德，只要坚持自主研发的道路，就没有跨不过的坎，没有攻不下的难关。