第310章 土法上马(1/2)
第二天一大早,赵四是被电话铃声吵醒的。
他睡在车间旁边临时隔出来的小办公室里,一张行军床,一条薄被。电话是北京打来的,楚老的声音听起来比往常更沉。
“赵四,出事了。”
赵四瞬间清醒:“您说。”
“咱们进口光刻胶的渠道,断了。”
楚老那边有翻纸的声音,“具体原因还在查,但东西运不过来了。”
“仓库里的存货,还能撑多久?”
赵四心往下沉:“最多......半个月。”
“如果按现在的试验强度,可能十天。”
电话那头沉默了。
足足十几秒,只有电流的滋滋声。
“楚老?”赵四试探着问。
“我在想。”楚老缓缓说,“想有没有替代方案。”
“咱们自己......能造光刻胶吗?”
这个问题太沉重了。光刻胶,半导体工艺中最关键的耗材之一,国内从没批量生产过。技术封锁、原料短缺、设备空白......全是坎。
“不知道。”赵四实话实说,“但可以试试。”
“那就试。”楚老斩钉截铁,“赵四,这是生死线。没有光刻胶,整个工程就得停。停了再启动,人心就散了。”
“我明白。”
“需要什么支持?”
“人。”赵四脑子飞快转,“懂化学的,懂材料的,最好是搞过感光材料的。还有......我需要联系全国的相关单位,找可能的原料、技术线索。”
“我给你开条子。”楚老说,“以748工程的名义,向全国化工、材料系统求援。但赵四,时间不等人。你们最多有七天。七天之内,必须拿出可行的方案。哪怕只是能用的土办法,也得上。”
“七天......”赵四咬牙,“行,七天就七天。”
挂了电话,他坐在行军床上,盯着斑驳的墙面发呆。窗外的天刚蒙蒙亮,车间里已经传来机器预热的声音。陈启明他们又开工了。
可如果没有光刻胶,这一切声音,很快就会停下来。
赵四深吸一口气,起身推门出去。
车间里,林雪正在记录昨天的工艺数据。看见赵四,她抬头笑了笑:“赵总工,昨天第三炉的数据出来了,良品率6.2%,比前两炉都好。陈启明说,照这个趋势,月底能到8%。”
“光刻胶要断了。”赵四直接说。
林雪的笑容僵在脸上:“什么?”
“进口渠道断了,存货最多撑十天。”赵四声音不高,但车间里很静,所有人都听见了。
机器声停了。陈启明从光刻机旁走过来,手上还戴着橡胶手套:“赵总工,您刚说......”
“光刻胶要断了。”赵四重复,“咱们得自己想办法。”
“自己造?”张卫东也过来了,一脸难以置信,“那东西......咱们连配方都没有。”
“配方可以研究。”赵四环视众人,“关键是,有没有人懂这个?感光材料、光敏树脂、有机化学......谁有基础?”
大家面面相觑。748团队里,学电子的、学物理的、学计算机的都有,就是没有专门学化学的。
“我......”角落里传来一个怯生生的声音。
是王技术员,负责配光刻胶的那位。她举了举手:“我以前在化工厂,做过感光材料......但那是印染用的,跟这个不一样。”
“印染用的也是感光材料。”赵四眼睛一亮,“王工,你具体做过什么?”
“重铬酸盐明胶。”王技术员说,“就是重铬酸钾和明胶混合,紫外线照射后会硬化,不溶于水。印染厂用来做模版。”
赵四脑子里闪过一道光。重铬酸盐明胶......这东西他在资料里见过,是早期光刻胶的一种,虽然性能差,但能用。
“配方你还记得吗?”
“记得。”王技术员点头,“但赵总工,这东西分辨率很低,只能做粗线条。而且稳定性差,放几个小时就失效。”
“能做成什么样?”
“我做给你看。”王技术员说,“原料车间里应该都有。”
她转身去了仓库。二十分钟后,拿着几个瓶瓶罐罐回来。重铬酸钾、明胶粉、蒸馏水。
就在工作台上,王技术员开始配胶。动作很熟练,称量、溶解、搅拌、过滤。最后得到一小瓶淡黄色的粘稠液体。
“这就是?”陈启明凑过来看。
“嗯。”王技术员把胶涂在一片玻璃片上,用甩胶机甩匀,形成一层薄膜,“但还没完,得‘敏化’。重铬酸盐本身感光性不强,需要加入胺类物质增强。常用的有二乙醇胺......”
“我们有吗?”
“没有。”王技术员摇头,“而且敏化后,胶的寿命更短,最多两小时。”
赵四看着那层淡黄色的胶膜,脑子里飞快地转。重铬酸盐明胶......分辨率低、稳定性差、寿命短,问题一大堆。
但它是光刻胶。能在紫外线下硬化,能形成图案。
而且原料易得。重铬酸钾是常用化工原料,明胶更不用说。
“王工,”他忽然问,“如果不用胺类敏化,直接用重铬酸盐,感光性差多少?”
“差很多。”王技术员说,“可能需要曝光时间延长几倍,而且线条边缘不锐利。”
“但如果我们的光刻机曝光能量足够强呢?”
“那......也许可以试试。”王技术员不太确定,“但赵总工,这东西真不行。国际上的光刻胶都是专门的感光树脂,分辨率能达到微米级。咱们这个,可能连十微米都做不出来。”
“先别管国际上。”赵四说,“咱们的目标是做出能用的芯片,不追求性能多好。十微米的线条,对4位处理器来说,够不够?”
他看向陈启明。
陈启明皱眉想了想:“4004的最小线宽是8微米。如果咱们放宽到10微米……芯片面积会大一些,但功能应该能实现。”
“那就先解决有无问题。”赵四拍板,“王工,你带几个人,全力攻关重铬酸盐明胶。目标是:一、配方稳定,批批能用;二、分辨率尽量高;三、寿命尽量长。”
“好……我试试。”王技术员压力很大。
“不是你一个人。”赵四说,“林雪,你配合王工,负责测试。每配一批胶,马上上机试,记录效果。张卫东,你改造光刻机的曝光系统,提高紫外光强度,补偿感光度不足。”
“明白!”
“陈启明,你调整设计。”赵四继续说,“既然工艺能力有限,咱们就把设计放宽。线宽统一加到10微米,间距也放宽。先保证能做出来,再谈性能优化。”
“行。”
任务分下去,车间又动起来了。但气氛不一样了。之前是为提高良品率奋斗,现在是为生存奋斗。
王技术员的小组当天就配了五批胶,每批配方稍有不同。重铬酸盐浓度、明胶比例、水浴温度、搅拌时间……全都记录在案。
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