第365章 浸没式光刻机（2/2）

林飞羽对外招了招手，保镖立刻递上来另一个厚厚的文件袋。

“这就是底气。”

林飞羽看着李副市长，眼神坚定：

“现在，ASML没了，专利在我们手里，最先进的图纸（小白优化版）也在我们手里。”

“我们不是在追赶，我们是在——领跑。”

说到这里，林飞羽突然站起身，走到会议室墙上挂着的那幅巨大的深圳市规划图前。

他拿起一支红色的马克笔，在观澜那片待开发的区域，画了一个巨大的圈。

那个圈，比之前的电池厂和屏幕厂加起来还要大好几倍。

“李市长，各位领导。”

林飞羽转过身，声音变得低沉而充满压迫感：

“但我今天要谈的，不仅仅是一台光刻机。”

“如果只是造个壳子，哪怕核心技术有了，我们也还是会被人卡脖子。镜头（蔡司）、光源（Cyr）、光刻胶（JSR）、掩膜版……这些上下游的命脉，依然掌握在西方和日本人手里。”

“我们就不能只做组装厂。”

林飞羽手中的笔重重地点在那个红圈上：

“我要做的，是全产业链闭环。”

“我要建的不是一个厂，而是一座城——‘光刻产业城’！”

“什么？全产业链？！”

在座的科技局局长和招商局领导们面面相觑，他们懂行，所以更觉得恐怖。这相当于要把ASML、蔡司、Cyr、JSR这些行业巨头的活儿，一家公司全干了？这在工业史上闻所未闻！

“没错。”林飞羽神色狂傲，“别人干不了，但我能干。我有技术，我有钱。”

他伸出手指，开始在那个红圈里进行详细的功能区划分，每一句话都像是一记重锤，砸在众人的心口上：

“A区，核心总装与研发中心，我要500亩。”

“这里是心脏。要做整机组装、双工件台调试。要求绝对防震、绝对洁净。地基要打到岩石层，旁边连重型卡车都不许过！”

“B区，精密光学与机械加工区，我要400亩。”

“光刻机的镜头是蔡司做的？以后就是我们做！磨玻璃需要巨大的抛光机，加工金属零件需要重型数控机床。噪音大，粉尘多，必须和A区物理隔离。”

“C区，光源与特种气体区，我要300亩。”

“深紫外激光器、氟气、氩气提纯。这是危险品区，必须放在下风口，还要有巨大的安全缓冲区。万一炸了（虽然不会），不能影响隔壁。”

“D区，光刻胶与化学材料区，我要400亩。”

“日本人垄断的光刻胶、显影液，我们自己造！这是精细化工，要有独立的污水处理和环保设施，离办公区越远越好。”

“E区，掩膜版与配套区，200亩。”

林飞羽一口气说完了五个工业分区，然后笔锋一转，画了一片风景优美的区域：

“最后，F区，生活配套与专家村，我要400亩。”

“我从欧洲挖来了彼得，以后还会挖来几千名世界顶级的科学家，包括我们自己的科学家。我不能让他们住板房。”