第439章 悬崖上的舞蹈（2/2）

“这也太土了吧……”

看着那些粗大的铜线圈，还有旁边临时搭建的水冷管子，王海冰有点哭笑不得。这画风，跟高大上的光刻机完全不搭。

“土不可怕，管用就行。”林远盯着安装进度。

“通电！”

巨大的电流涌入线圈。

“嗡——”

低沉的磁力轰鸣声响起。

那台重达几十吨的光刻机主框架，竟然真的——缓缓离开了地面！

它悬浮在半空中，就像一座空中楼阁。

“浮起来了！”工人们欢呼。

但问题随之而来。

因为它浮起来了，没有任何接触，所以它像水面上的船一样，开始晃荡。

稍微碰一下，它就晃个不停。

“这不行啊！”老张急了，“这么晃，镜头根本装不进去！”

“看我的。”

汪韬坐在电脑前，十指如飞。

“启动主动阻尼算法！”

他在光刻机的四周，安装了十几个高灵敏度的激光位移传感器。

传感器一旦检测到机器往左晃了0.001毫米。

电脑立刻控制右边的线圈，电流加大一点点，产生一个反向的磁力，把它推回来！

这叫——“以动制动”。

“参数修正……PID增益调大……”

屏幕上，原本波浪一样的晃动曲线，开始慢慢变平。

一分钟后。

那台悬浮在空中的机器，突然定住了。

纹丝不动。

就像被施了定身法。

有人试着伸手推了一下机器，机器就像生了根一样，毫无反应。其实是磁力瞬间反推了回来。

“稳了！”汪韬大喊，“震动幅值：0.01微米！比原来的洋设备还稳十倍！”

“这就是磁悬浮的威力！没有机械接触，就没有摩擦，反应速度无限快！”

老张看着这一幕，竖起了大拇指：“还得是你们搞IT的脑子快。我们搞了一辈子车，也没想到能这么玩。”

地基稳了。

现在，要把那个1.5吨重的镜头，放进去了。

这是最后的一关，也是最惊险的一关。

因为镜头是玻璃做的萤石，框架是金属做的。两者之间的间隙极小。

一旦在放入的过程中，稍微歪一点点，或者手抖一下。

咔嚓。

几个亿就没了。

“吊臂不行。”王海冰看着那台机械吊臂，“它太粗糙了，微动控制不好。刚才就是它差点撞上。”

“那怎么办？人抬？”

“1.5吨，人抬不动。”

林远看着那个悬在半空的镜头，又看了看

“既然底座能浮……”

“为什么镜头不能浮？”

“什么意思？”众人不解。

“我们不用吊臂往下放。”

林远做了一个向上托举的手势。

“我们把镜头放在一个气垫上，让它飘进去。”

“气浮导轨。”

林远指挥大家，在光刻机的安装孔位上，临时搭建了一个滑梯一样的气浮轨道。

利用高压气体，在轨道表面形成一层气膜。

那个巨大的镜头，被放在了气膜上。

摩擦力几乎为零。

只需要一根手指头轻轻一推，那个1.5吨的庞然大物，就顺滑地向前滑动。

“慢点……慢点……”

山田光一那位投诚的日本专家亲自趴在旁边指挥，眼泪都快流下来了。他这辈子没见过这么野路子的装配方法，但不得不承认，这真他妈稳！

镜头顺着气轨，一点一点地滑进了安装孔。

“到位！”

“锁紧！”

螺栓拧紧的声音，在此时听起来简直是天籁。

“安装完成！”

全场掌声雷动。

他们用修火车的技术磁悬浮，加上搬运工的智慧气浮，完成了一次世界级的精密装配。

所有部件归位。

光源SSMB、光路FSM、镜头High-NA、工件台磁悬浮。

“通电自检。”

屏幕上，一个个绿色的“OK”亮起。

“光源注入。”

一道深紫色的光，穿过复杂的透镜组，最终投射在底部的硅片上。

显微镜下。

一条条清晰、锐利的电路图案显现出来。

线宽：5纳米。

虽然离3纳米还有差距，但这已经是目前国产设备的极限，也是世界第二的水平仅次于ASML的EUV。

“我们做到了……”

王海冰瘫坐在地上，浑身湿透。

林远看着那台发出幽幽蓝光的机器，心中并没有太多激动。

他知道，这台机器虽然造出来了，但它是个“缝合怪”。

用了核电站的技术、高铁的技术、化工的技术、甚至土木工程的技术。

它笨重、昂贵、难以维护。

但它有一个最大的优点——它是我们自己的。

每一个螺丝，每一行代码，都是我们自己搞定的。

没人能再关掉它。

“顾盼，”林远走出实验室，摘下口罩，“给那些还在观望的国内芯片厂发个消息。”

“告诉他们，如果不想要美国的许可证，就来找我。”

“我有更便宜、更听话的机器。”

“还有，”林远停下脚步，看向东方，“那个日本特工带回去的假数据，应该已经开始发挥作用了吧？”

“是的。”顾盼坏笑，“情报显示，东和财团刚刚宣布，他们的光刻机项目取得了重大突破，准备投入巨资量产。”

“很好。”

林远嘴角勾起一抹冷笑。

“让他们造。”

“等他们把钱都砸进那个坑里，发现造出来的是一堆废铁的时候……就是我们收网的时候。”