第231章 历史性时刻，命名逐光【二合一求订阅】（1/2）
第231章历史性时刻，命名逐光【二合一求订阅】
「我说老贺，今天居然这么平静，可有点不太像你了。」
12月10日，周四。
微电子装备总部大楼，毫米级实验室内，丁顺安看著面色淡然的贺鹏涛，忍不住主动搭话询问。
经过将近两个月的研发，燕京材料研究院方面，成功制造出多环结构光源靶盘，并第一时间送到魔都。在分析研判后，决定于今天展开新一轮实验验证。
由于这段日子里，微电子装备这边，也在全力攻坚集成电路等部件。
可以说对国产极紫外光刻机的研发，已正式进入全面加速阶段。
只要彻底解决稳定，且功率达到250瓦商用标准的极紫外光源，便又能往前迈出巨大一步。
同时更好的反击海外舆论。
而按照以往表现，面对这种国产极紫外光刻机，研发过程中的历史性关键点，贺鹏涛往往会格外紧张。甚至不惜亲自上手操作，生怕中途出现什么岔子，导致实验过程中发生变故。
但今天他却一改常态。
除面色镇定外，还把更多的工作，交给了自己的学生潘耀去做。
他此刻，把丁顺安的话听进耳中，下秒瞥过目光。
理所当然答道：「我相信徐总师的方案，自然没甚好担心的。」
「至于潘耀嘛，总要给年轻人锻炼的机会，否则如何快速成长，肩负起未来的科研任务。」前脚才刚说完，紧接著他又特意补充一句。
「这话确实没毛病。」丁顺安点点头自语般应声。
话落。
视线下意识，看向身旁正站的笔直的徐铭。
那份胸有成竹的自信，确实让人安心。
回想自己刚接触徐铭时，何尝不是和贺鹏涛一样。
既操心国产极紫外光刻机的研发进度，就生怕如此年轻的徐铭，无法胜任国家重点项目总设计师的工作。
直到上次验证极紫外光源时，过程中还忐忑不已。
可现在却内心坦然，就像是提前看到了实验结果，认定必然成功。
说实话刚意识到这种想法时，他自己都吓了一跳，毕竟这对一位资深院士来说确实不应该。
科研实验是严谨的，在没有看到最终结果前，任何情况都有可能发生。
失败更是再正常不过。
但偏偏受徐铭的影响，形成了这份信心。
只能说徐铭展现出来的天赋和水平，实在太超出常人有限的认知，让原本几乎不可能做到的难题，变成了一个个的现实。
徐铭听著两位老院士的对话，并未开口参与交流。
他身为项目总设计师，尽管璇玑系统那边，仍面临著随机几何分析框架的构建证明，然像今天这样，关乎著核心光源系统的实验，肯定还是要亲临现场坐镇的。
所以在同苏振豪，安排好燕京那边的事宜，便专程赶回来一趟。
在提出这项新的，获得稳定极紫外光源的方法时，他便有了改变光源靶盘结构，来提高光源功率的想法。
既然50瓦功率的光源都验证成功，那么这次显然也不会有问题。
确实不需要太担心。
就当他念头停留在这里，只见潘耀迈步走过来，驻足后立即开口进行报告。
「徐总师。」
「演示装置和多环结构光源靶盘，以及雷射设备，都安装检测完毕，随时可以开始实验。」
「您下指令吧。」
徐铭闻言正了正脸色，接著不再有任何迟疑。
嘴唇微动吐出几个字。
「验证开始。」
潘耀强安耐住激动回道：「是徐总师。」
话音落下的同时，立刻转身回到实验装置控制系统屏幕前，在工程人员的操作下，正式启动雷射设备。
透过观察窗，看向实验室内的那台演示装置。
只见从多个雷射设备中，同时发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射，在照射到高速旋转的光源靶盘上后，雷射在每一个点上瞬间激发耦合态。
辐射出稳定的极紫外光。
与此同时。
贺鹏涛和丁顺安两位院士，也难以继续保持平静，面部表情上隐隐浮现出激动之色。
目光牢牢紧盯著，屏幕中实时反馈的数值。
甚至下意识念出声来。
「辐射出的光源波长，依旧为13.5纳米，属于极紫外光波段。」
「输出光源稳定在80瓦————」
「120瓦————
，「200瓦——
「250瓦，我们验证成功了！」
随著期望的数字终于出现，在声音落下瞬间，制室内顿时爆发出热烈的掌声，庆祝这一里程碑式重要时刻。
「我早就说过，徐总师的方案没问题。」贺鹏涛待大家的掌声落下，抬手轻擦了下湿润的眼角，毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。
旁边的丁顺安，同样内心激动不已。
视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上，心情复杂连连感慨。
「从我国开始重点研究光刻机，到现在多少年了，总算实现了可商用的，足以领先世界的核心光源系统，我这辈子没啥遗憾喽。」
「才只是成功验证了核心光源系统，你就没遗憾了，起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。」贺鹏涛笑著接过话茬，跟在丁顺安后面补充了两句。
丁顺安附和道：「有徐总师在，这是迟早的事。」
说完两人转头看向徐铭。
「徐总师，请允许我代表所有光机所人员，由衷向你表示感谢。」贺鹏涛最先开口道：「没有你的物理理论，我们根本不可能这么快，便攻克稳定功率的极紫外光源。」
「仅这一项理论成果，就起码让咱们少走了几年，甚至十几年的弯路。」丁顺安也没沉默。
面对两位院士的如此称赞，徐铭反应更快，连忙出声回应。
「两位院士言重了，既然这个担子交给我，那我自然会尽最大努力做好。」
「何况后面还有更重要的工作，需要我们大家完成。」
把热烈氛围推向高峰。
接下来的时间，实验室交给了潘耀负责。
继续进行光源实验，好记录更加详细的数据，用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。
徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。
「下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。」
办公室内丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。
春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术O
尤其作为国产光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有著独到之处，甚至并不落后海外技术多少。
如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。
贺鹏涛虽来自春城光机所，但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。
尤其现在还进行了资源整合。
闻言也当即讲出自己的看法和决心。
「眼下我们有了极紫外光源，并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术，根据国内技术整体评估，我看最多两年时间，就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。」
「阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机，恐怕也会在两三年时间内发布。」丁顺安想到什么接过话茬补充。
贺鹏涛笑呵呵回复句。
「那就刚好比一比，看看谁的极紫外光刻机，综合性能更加领先。」
徐铭听完两人的对话，嘴角也不由得微微上扬，对阿斯麦公司的光刻机，还真涌现出些许期待。
他也想看看，采用了全新物理现象理论，研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。
估摸著拿下阿斯麦在行业中的地位，恐怕不会太难。
思维思忖至此，他很快轻微摇了下头，暂时把这件事抛在脑后，主动提起接下来的正事。
「后续极紫外光刻机的研发，就还拜托贺院和丁院来坐镇负责了，如果遇到什么技术瓶颈的话，随时通知我参加研讨会商议解决方案。」
「等璇玑系统的开发稳定后，我会多关注这边的。」
目前全新随机几何分析框架的构建，正值最后的关键几个证明步骤。
等完成此理论，便能正式著手开发新的算法。
在这种情况下，他肯定不能逗留在微电子装备，今天下午就要赶回燕京继续推导。
主要璇玑系统和光刻机，都是高端晶片制造产业链中的重要环节，只不过一个属于前端一个属于后端。
想实现百分之百国产化升级，就必须把璇玑系统和国产极紫外光刻机，同时研发出来才行，否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。
无论贺鹏涛还是丁顺安，他们自然都清楚，璇玑系统的重要性。
不过在听完徐铭这番话之后，互相对视一眼，依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。
本以为徐铭选择把精力放在新一代EDA上，只是借助总设计师的身份，好让国内EDA公司更好整合技术，加快全新一代极紫外光EDA工具算法问世。
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